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温度范围：室温~1050度
整机功率：2.5 kW
末端口为：不锈钢法兰接口，外置水冷却
进样方式为：手动
气体成分有：
Ar：纯度99.999%以上，40L，配惰性气体减压阀，流量0-1000 sccm；
H2：纯度99.999%，40L，配氢气减压阀，流量0-200 sccm；
CH4：纯度99.999%，40L，配减压阀，流量0-10 sccm (更大量程可选)；
13CH4：纯度99% (1%为12CH4)，10L，配专用减压阀，流量0~10 sccm (同位素选件)；
该系统的温度、气流及真空采用计算机控制，其中部分功能也可以采用手动控制。石墨烯制备炉采用计算机实时控制和显示所有与生长有关的实验参数，自动保存实验参数，给实验带来极大的方便，并提高实验的精确性。
石墨烯制备炉
